شماره کتابشناسی ملی
شماره
۷۴۴۲پ
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
per
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
بررسی خواص لایه‌های نازک Tiتهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی dc
نام نخستين پديدآور
/صبا خداکریمی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: دانشکده فیزیک
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
فاقد اطلاعات کامل
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
فیزیک حالت جامد و الکترونیک
زمان اعطا مدرک
۱۳۸۶/۱۲/۲۵
کسي که مدرک را اعطا کرده
دانشگاه تبریز
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
در دهه‌های اخیر، مطالعه و پژوهش در زمینه‌های فیزیک سطح، فصل مشترک و لایه‌های نازک به عنوان یکی از با اهمیت‌ترین شاخه‌های فیزیک ماده چگال و سطوح جامد که خود منجر به پیشرفت‌های بسیار در زمینه تکنولوژی) نانو تکنولوژی (شده، شکوفایی بسیاری یافته است .برای بررسی بنیادی و درک فیزیکی این ساختارها و خواص آنها که در واقع به فیزیک حالت جامد مربوط می‌شوند، نیاز به دانش وسیعی از اثرات سطحی و فصل مشترک داریم .توسعه فناوری مخصوصا در طول ۲۵ سال گذشته عاملی شد تا لایه‌نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی در زمینه‌های متنوع علمی، تحقیقاتی و صنعتی توسعه یابد .کلیه عناصر جدول تناوبی با روش کندوپاش قابل تهیه به صورت فیلم نازک هستند .در این میان، کندوپاش مگنترونی متفاوت از دیگر شیوه‌های کندوپاش (RF, DC ساده (است که در تهیه لایه‌هایی با کیفیت بالا و ناحالصی کم و آهنگ پوشش‌دهی بالا کاملا موفق بوده است .در این کار تجربی لایه‌های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیرلایه‌های شیشه‌ای تهیه و برخی از خواص فیزیکی مانند خواص الکتریکی، ساختاری و مکانیکی آنها مورد بررسی قرار گرفته است .نتایج حاصل نشان می‌دهد که مقاومت الکتریکی فیلم‌ها با افزایش توان و دمای زیرلایه، کاهش یافته و با افزایش فشار پایه و فشار گاز کاری افزایش می‌یابد .بررسی طیف XRD اخذ شده از فیلم‌ها نشانگر این واقعیت است که در دمای اتاق، ساختار فیلم‌ها آمورف بوده ولی با بالا رفتن دمای زیرلایه در حین لایه‌گذاری، تحرک سطحی اتم‌صهای فرودی افزایش پیدا کرده و این امکان را بدست می‌آورد تا در جاهای خاص شبکه‌ای خود قرار گیرند و با منظم شدن ترتیب اتمی، ساختار فیلم‌ها بحالت بلورین نزدیک‌تر می‌شود .فیلم‌های تهیه شده تحت توان پایین، فشار کاری و پایه بالا نیز دارای ساختار آمورف هستند .زیرا در این حالت‌ها، اتم‌ها انرژی کافی برای استقرار در جایگاههای شبکه‌ای خاص خود را ندارند .دلیل آمورف بودن ساختار فیلم‌ها در فشارهای بالا به احتمال قوی اکسایش و نیتریده شدن آنهاست .بررسی چسبندگی فیلم‌ها به زیرلایه‌های شیشه‌ای نشان می‌دهد که با افزایش توان و دمای زیرلایه، چسبندگی فیلم‌ها، افزایش و با افزایش فشار پایه و کاهش فشار کاری، چسبندگی افزایش می‌یابد
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
خداکریمی، صبا
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
بیدادی،حسن، استادان راهنما
مستند نام اشخاص تاييد نشده
هادیان،فرامرز، استاد مشاور
دسترسی و محل الکترونیکی
يادداشت عمومي
سیاه و سفید
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
نمایه‌سازی قبلی
