شماره کتابشناسی ملی
شماره
۲۱۸۹۵پ
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
per
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
بررسی امکان کنترلپذیری دستگاهROM - CDجهت لیتوگرافی به روش دایرکت لایت بدون ماسک
نام نخستين پديدآور
/ابراهیم زهرابی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: مهندسی برق و کامپیوتر
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۷
نام توليد کننده
، افشاری
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۱۲ص
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی‌ارشد
نظم درجات
مهندسی برق - الکترونیک
زمان اعطا مدرک
۱۳۹۶/۱۱/۱۸
کسي که مدرک را اعطا کرده
تبریز
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
امروزه توسعهی ادوات نیمه‌هادی در کاربردهای خانگی، صنعتی و پزشکی ... نیاز روزافزون به کاهش هزینههای تولید این ادوات را افزایش داده است .بهینه کردن مراحل ساخت یک تراشه‌ی نیمه‌هادی و ساخت تجهیزات تولید با قیمت پایین‌تر و کارایی بیشتر از جمله راه حل‌هایی جهت مقرون به صرفه کردن فرآیند ساخت ادوات نیمه‌هادی است .تجهیزات لیتوگرافی عموما دارای تکنولوژیهای پیشرفته و انحصاری و صد البته گران قیمت هستند .در این پژوهش امکان کنترل مستقیم و غیرمستقیم دستگاهROM - CDجهت انجام فتولیتوگرافی به روشLight - Maskless Directمورد بررسی قرار گرفته‌است .سختافزارROM - CDو همچنین استانداردهای نوشتن و خواندن اطلاعات روی دیسک جهت کنترل مستقیم دستگاه مورد بررسی قرارگرفتهاست .مطالعاتی روی کنترل غیر مستقیم دستگاه از طریق پورت ورودی دستگاه که از استاندارد IDE تبعیت میکند انجام گرفته است .نتایج تحقیق که شامل تصویر آشکار قابل تشخیص با چشم روی دیسک میباشد در بخش نتایج آمده است.پرواضح است که انتقال یک طرح روی یک سطح از شروط لازم برای فرآیند لیتوگرافی میباشد اما کافی نمیباشد .در آخر نیز نقصانهای دستگاهROM - CDجهت پیادهسازی یک سیستم لیتوگرافی آوردهشدهاست
متن يادداشت
Nowadays, the development of semiconductor devices in home, industrial and medical applications and so on, has increased the need for ever-increasing costs of production of these devices. Optimizing the construction of a semiconductor chip and manufacturing equipment at lower cost and efficiency is including solutions for the cost-effective manufacturing of semiconductor devices. Lithographic equipment generally has advanced and monolithic technologies and, of course, is very expensive. In this research, direct and indirect control of the CD-ROM machine for photolithography using the Maskless Direct-Write method has been investigated. The CD-ROM hardware, as well as the standards for writing and reading disk information for direct control of the device, have been investigated. Studies on indirect control of the device are carried out through the device's input port that follows the IDE standard. The results of the study, which include a clear-cut image that can be detected by the eye on the disk, are presented in the results section. It is possible that transferring a plan onto a level is a necessary condition for the lithographic process, but not enough. In the end, the CD-ROM drive has been limitated to implement a lithographic system
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
زهرابی، ابراهیم
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Ebrahim , Zahrabi
دسترسی و محل الکترونیکی
يادداشت عمومي
سیاه و سفید
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
نمایه‌سازی قبلی
