شابک
شابک
1557523045
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
97-619
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
OSA proceedings on soft x-ray projection lithography
نام عام مواد
[Book]
ساير اطلاعات عنواني
:proceedings of the Topical Meeting, May 10-12, 1993, Monterey, California
نام نخستين پديدآور
/ edited by Andrew M. Hawryluk and Richard H. Stulen
نام ساير پديدآوران
; sponsored by the Optical Society of America
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Washington, D.C
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: The Society
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c1993-.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
v.
ساير جزييات
: ill.
ابعاد
; 29 cm
يادداشت کلی
متن يادداشت
Language: انگلیسی
متن يادداشت
"Supported by Air Force Office of Scientific Research, Defense Advance Research Projects Agency, Department of Energy"
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
Print
یادداشتهای مربوط به عنوانهای مرتبط
متن يادداشت
Spine title: Soft x-ray projection lithography..
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
عنوان عطف
عنوان عطف
Soft x-ray projection lithography..
عنوانهای گونه گون دیگر
عنوان گونه گون
Soft x-ray projection lithography
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
X-ray lithography - Congresses
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7874
نشانه اثر
.
O7
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Hawryluck, Andrew M، Editor
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Stulen, R. H، Editor
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Bokor , Jeffrey، Editor
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Optical Society of America
مبدا اصلی
کشور
ایران
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
p
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
