شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
۱۱۹۸ پ
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
فارسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
لایه نشانی تیتانیم کرباید بوسیله دستگاه پلاسما
نام عام مواد
[پایان‌نامه]
نام نخستين پديدآور
/قاسم خسروبیگی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
دانشگاه صنعتی سهند
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۱
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۰۰ ص
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
کتابنامه در آخر پایان نامه
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
فیزیک
کسي که مدرک را اعطا کرده
دانشگاه صنعتی سهند
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
با توجه به کاربردهای فراوان کربید تیتانیم، روش‌های گوناگونی نیز برای تولید آن به کار رفته است .در این پژوهش تلاش شده است تا با روش PVD و به وسیله دستگاه پلاسمای پالسی چگال و دما بالا( پلاسما فوکوس)، تیتانیم کرباید بر روی سیلیکون تک کریستال لایه نشانی شود .برای انجام این آزمایش قطعه تیتانیم به عنوان آند در داخل چمبر قرار گرفت و داخل چمبر تخلیه شد .پس از ایجاد خلا در داخل چمبر به داخل آن گاز متان ۹۹/۹۹ تا فشار مناسب تزریق شد .با انجام آزمایش‌های متعدد معلوم شد که نمونه باید در فاصله حدودا cm ۴۳ از آند قرار گیرد و ولتاژ ورودی نیز به اندازه ای بالا باشد( در حدود (v ۱۶۰۰ تا باعث تبخیر ذرات آند گردد .اگر فشار داخل چمبر نیز مناسب نباشد جت پلاسمایی به خوبی اتفاق نمی‌افتد، فشار داخل چمبر با تزریق گاز متان در این شرایط باید در حدود۱۰ -۱۰ ۳- torr ۴می‌باشد.از آنالیز های پراش پرتو(XRD) X ، طیف سنجی رامان (RAMAN) و آنالیز نقطه ای میکروسکوپ الکترونی روبشی (EDS) برای تشخیص تشکیل لایه نازک تیتانیم کرباید استفاده شده است .آنالیز XRD نشان داد کهTiC(۱۱۱) ،TiC(۲۰۰) ،TiC(۲۲۰) ، TiC(۲۲۲) و TiC(۳۱۱) بر روی سیلیکون تشکیل شده است .همچنین برای ریخت شناسی سطح لایه نازک از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) استفاده شده است .این آنالیز نیز حاکی از تشکیل ریز ذرات می باشد که پراکندگی آن ها تقریبا به صورت یکنواخت است.
اصطلاحهای موضوعی کنترل نشده
اصطلاح موضوعی
پلاسما فوکوس
اصطلاح موضوعی
تیتانیم کرباید
اصطلاح موضوعی
لایه نازک
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
خسروبیگی، قاسم
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
قره شعبانی، اسلام، استاد راهنما
مبدا اصلی
کشور
ایران
تاريخ عمليات
20230620
شماره دستیابی
شماره بازیابی
فیزیک،۹۰۰۵۳،۱۳۹۱
دسترسی و محل الکترونیکی
نام ميزبان
امسلاپ ه‌اگتسد ه‌لیسوب دیابرک م‌یناتیت ی‌ناشن ه‌یلا.pdf
شماره دسترسي
عادی
اطلاعات مختصر
عادی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
1198.pdf
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
p90053.pdf
بيت در ثانيه
0
ارتباط براي تسهيلات دسترسي
ایمانی
نوع فرمت الکترونيکي
متن
اندازه فايل
0
شماره کنترل رکورد
پ ۱۱۹۸
يادداشت عمومي
فارسی
داده هایی که از فرمت مبدا برگردانیده نشده است
شماره فيلد فرمت مبدا
محل نگهداری: کتابخانه مرکزی دانشگاه صنعتی سهند
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
نمایه‌سازی قبلی
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
pe
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
TF
کد کاربرگه
92029
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
