Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
/ Gary S. May, Costas J. Spanos
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
[Piscataway]
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: IEEE ; Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c2006.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xix, 463 p. , ill. , 25 cm.
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
Electronic
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Introduction to semiconductor manufacturing -- Technology overview -- Process monitoring -- Statistical fundamentals -- Yield modeling -- Statistical process control -- Statistical experimental design -- Process modeling -- Advanced process control -- Process and equipment diagnosis.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Semiconductors , Design and construction
موضوع مستند نشده
Integrated circuits , Design and construction
موضوع مستند نشده
Process control , Statistical methods
رده بندی کنگره
شماره رده
E-BOOK
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )