عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TS695 .W37 1992
TS695
.
W37
1992
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0815512805
شابک
9780815512806
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b787767
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Handbook of sputter deposition technology :
نام عام مواد
[Book]
ساير اطلاعات عنواني
principles, technology, and applications /
نام نخستين پديدآور
by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Park Ridge, N.J., U.S.A. :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Noyes Publications,
تاریخ نشرو بخش و غیره
©1992.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xii, 304 pages :
ساير جزييات
illustrations ;
ابعاد
24 cm.
فروست
عنوان فروست
Materials science and process technology series
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
A concise, comprehensive overview of sputter deposition technologyua key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Cathode sputtering (Plating process)
موضوع مستند نشده
Thin films.
موضوع مستند نشده
Beschichten
موضوع مستند نشده
Cathode sputtering (Plating process)
موضوع مستند نشده
Cathode sputtering (Plating process)
موضوع مستند نشده
Couches minces métalliques.
موضوع مستند نشده
Couches minces.
موضوع مستند نشده
Dünnschichttechnik
موضوع مستند نشده
Materiais e dispositivos semicondutores.
موضوع مستند نشده
Pulvérisation cathodique.
موضوع مستند نشده
Sputtern
موضوع مستند نشده
Thin films.
رده بندی ديویی
شماره
621
.
3815/2
ويراست
20
رده بندی کنگره
شماره رده
TS695
نشانه اثر
.
W37
1992
سایر رده بندی ها
شماره رده
33
.
68
شماره رده
52
.
78
شماره رده
537
.
525
شماره رده
UP
7550
شماره رده
ZM
7620
کد سيستم
bcl
کد سيستم
bcl
کد سيستم
rvk
کد سيستم
rvk
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Wasa, Kiyotaka.
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Hayakawa, Shigeru,1925-
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20201207012618.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
