عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK7875 .S55 2006eb
TK7875
.
S55
2006eb
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
1281347566
شابک
1860949096
شابک
6611347569
شابک
9781281347565
شابک
9781860949098
شابک
9786611347567
شابک اشتباه
1860946240
شابک اشتباه
9781860946240
شابک اشتباه
9781860949098
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b739120
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Silicon carbide micro electromechanical systems for harsh environments /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
editor Rebecca Cheung.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
London :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Imperial College Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
©2006.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
1 online resource (x, 181 pages) :
ساير جزييات
illustrations
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Ch. 1. Introduction to Silicon Carbide (SiC) Microelectromechanical Systems (MEMS) / Rebecca Cheung -- ch. 2. Deposition techniques for SiC MEMS / Christian A. Zorman, Xiao-An Fu and Mehran Mehregany -- ch. 3. Review of issues pertaining to the development of contacts to silicon carbide: 1996-2002 / Lisa M. Porter and Feroz A. Mohammad -- ch. 4. Dry etching of SiC / S.J. Pearton -- ch. 5. Design, performance and applications of SiC MEMS / Stefan Zappe.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
This unique book describes the science and technology of silicon carbide (SiC) microelectromechanical systems (MEMS), from the creation of SiC material to the formation of final system, through various expert contributions by several leading key figures in the field. The book contains high-quality up-to-date scientific information concerning SiC MEMS for harsh environments summarized concisely for students, academics, engineers and researchers in the field of SiC MEMS. This is the only book that addresses in a comprehensive manner the main advantages of SiC as a MEMS material for application.
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
عنوان
Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments.
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9781860946240
عنوان اصلی به زبان دیگر
عنوان اصلي به زبان ديگر
Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems.
موضوع مستند نشده
Silicon carbide.
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems.
موضوع مستند نشده
Silicon carbide.
موضوع مستند نشده
TECHNOLOGY & ENGINEERING-- Electronics-- Digital.
موضوع مستند نشده
TECHNOLOGY & ENGINEERING-- Electronics-- Microelectronics.
مقوله موضوعی
موضوع مستند نشده
TEC-- 008060
موضوع مستند نشده
TEC-- 008070
رده بندی ديویی
شماره
621
.
381
ويراست
22
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7875
نشانه اثر
.
S55
2006eb
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Cheung, Rebecca.
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20201204000828.0
قواعد فهرست نويسي ( بخش توصيفي )
pn
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
