عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK7875 .H36 2010eb
TK7875
.
H36
2010eb
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0080947727
شابک
9780080947723
شابک اشتباه
0815515944
شابک اشتباه
9780815515944
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b736820
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Veikko Lindroos [and others].
وضعیت ویراست
وضعيت ويراست
1st ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boston :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
William Andrew/Elsevier,
تاریخ نشرو بخش و غیره
2010.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
1 online resource (xxxii, 636 pages) :
ساير جزييات
illustrations
فروست
عنوان فروست
Micro & nano technologies
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Front Cover; Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; Copyright Page; Contents; Preface; List of Contributors; Overview; PART I: Silicon as MEMS Material; PART II: Modeling in MEMS Methods; PART III: Measuring MEMS; PART IV: Micromachining Technologies in MEMS; PART V: Encapsulation of MEMS Components; Appendix 1 Common Abbreviations and Acronyms; Appendix 2 Nanoindentation Characterization of Silicon and other MEMS Materials; Index.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
A comprehensive guide to MEMS materials, technologies and manufacturing, examining the state of the art with a particular emphasis on current and future applications. . Key topics covered include: .: . .; Silicon as MEMS material .; Material properties and measurement techniques .; Analytical methods used in materials characterization .; Modeling in MEMS .; Measuring MEMS .; Micromachining technologies in MEMS .; Encapsulation of MEMS components .; Emerging process technologies, including ALD and porous silicon ... Written by 73 world class MEMS contributors from around the glo.
یادداشتهای مربوط به سفارشات
منبع سفارش / آدرس اشتراک
MIL
شماره انبار
254114
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
عنوان
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies.
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9780815515944
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems-- Materials.
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems.
موضوع مستند نشده
Silicon-- Electric properties.
موضوع مستند نشده
MEMS
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems-- Materials.
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems.
موضوع مستند نشده
Silicium
موضوع مستند نشده
Silicon-- Electric properties.
موضوع مستند نشده
TECHNOLOGY & ENGINEERING-- Electronics-- Semiconductors.
موضوع مستند نشده
TECHNOLOGY & ENGINEERING-- Electronics-- Solid State.
مقوله موضوعی
موضوع مستند نشده
TEC-- 008090
موضوع مستند نشده
TEC-- 008100
رده بندی ديویی
شماره
621
.
38152
ويراست
22
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7875
نشانه اثر
.
H36
2010eb
سایر رده بندی ها
شماره رده
ZN
3750
شماره رده
ZN
3750
.
کد سيستم
rvk
کد سيستم
rvk
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Lindroos, Veikko.
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20201203205648.0
قواعد فهرست نويسي ( بخش توصيفي )
pn
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
