عنوان

Technologie hochintegrierter Schaltungen

شابک

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شابک

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شابک

9783642614156

شابک

9783642648328

شماره

b571777

عنوان اصلي

Technologie hochintegrierter Schaltungen

نام عام مواد

[Book]

نام نخستين پديدآور

von Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich.

وضعيت ويراست

2. Auflage

محل نشرو پخش و غیره

Berlin, Heidelberg

نام ناشر، پخش کننده و غيره

Springer Berlin Heidelberg

تاریخ نشرو بخش و غیره

1996

عنوان فروست

Halbleiter-Elektronik, 19.

متن يادداشت

1 Einleitung --; 2 Grundzüge der Technologie von Integrierten Schaltungen --; Literatur zu Kapitel 2 --; 3 Schichttechnik --; 3.1 Verfahren der Schichterzeugung --; 3.2 Die monokristalline Siliziumscheibe --; 3.3 Epitaxieschichten --; 3.4 Thermische SiO2-Schichten --; 3.5 Abgeschiedene SiO2-Schichten --; 3.6 Phosphorglasschichten --; 3.7 Siliziumnitridschichten --; 3.8 Polysiliziumschichten --; 3.9 Silizidschichten --; 3.10 Refraktär-Metallschichten --; 3.11 Aluminiumschichten --; 3.12 Organische Schichten --; 3.13 Literatur zu Kapitel 3 --; 4 Lithographie --; 4.1 Strukturgröße, Lagefehler und Defekte --; 4.2 Photolithographie --; 4.3 Röntgenlithographie --; 4.4 Elektronenlithographie --; 4.5 Ionenlithographie --; 4.6 Strukturerzeugung ohne Lithographie --; 4.7 Literatur zu Kapitel 4 --; 5 Ätztechnik --; 5.1 Naßätzen --; 5.2 Trockenätzen --; 5.3 Trockenätzprozesse --; 5.4 Literatur zu Kapitel 5 --; 6 Dotiertechnik --; 6.1 Thermische Dotierung --; 6.2 Dotierung mittels Ionenimplantation --; 6.3 Aktivierung und Diffusion von Dotieratomen --; 6.4 Diffusion von nichtdotierenden Stoffen --; 6.5 Literatur zu Kapitel 6 --; 7 Reinigungstechnik --; 7.1 Verunreinigungen und ihre Auswirkungen --; 7.2 Reine Räume, Materialien und Prozesse --; 7.3 Scheibenreinigung --; 7.4 Literatur zu Kapitel 7 --; 8 Prozeßintegration --; 8.1 Die verschiedenen MOS- und Bipolar-Technologien --; 8.2 Architektur der Gesamtprozesse --; 8.3 Transistoren in Integrierten Schaltungen --; 8.4 Speicherzellen --; 8.5 Mehrlagenmetallisierung --; 8.6 Detaillierte Prozeßfolge ausgewählter Gesamtprozesse --; 8.7 Literatur zu Kapitel 8.

متن يادداشت

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Prozeßarchitekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.

موضوع مستند نشده

Electronics.

موضوع مستند نشده

Engineering.

موضوع مستند نشده

Optical materials.

شماره رده

نشانه اثر

مستند نام اشخاص تاييد نشده

von Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich.

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Dietrich Widmann

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Hans Friedrich

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Hermann Mader

نام الکترونيکي

نوع ماده

[Book]

تكميل شده

Y