عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0444596917
شابک
9780444596918
شابک اشتباه
0444899081
شابک اشتباه
9780444899088
شماره کتابشناسی ملی
شماره
dltt
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Semiconductor materials analysis and fabrication process control
نام عام مواد
[Book]
ساير اطلاعات عنواني
proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992 /
نام نخستين پديدآور
edited by G.M. Crean, R. Stuck, and J.A. Woollam.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Amsterdam :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
North-Holland,
تاریخ نشرو بخش و غیره
1993.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
1 online resource (xiv, 338 p.) :
ساير جزييات
ill.
فروست
عنوان فروست
European Materials Research Society symposia proceedings ;
مشخصه جلد
v. 34
يادداشت کلی
متن يادداشت
"Reprinted from Applied surface science 63"--T.p. verso.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and indexes.
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
There is a growing awareness that the successful implementation of novel material systems and technology steps in the fabrication of microelectronic and optoelectronic devices, is critically dependent on the understanding and control of the materials, the process steps and their interactions. The contributions in this volume demonstrate that characterisation and analysis techniques are an essential support mechanism for research in these fields. Current major research themes are reviewed both in the development and application of diagnostic techniques for advanced materials analysis and fabrication process control. Two distinct trends are elucidated: the emergence and evaluation of sophisticated in situ optical diagnostic techniques such as photoreflectance and spectroellipsometry and the industrial application of ultra-high sensitivity chemical analysis techniques for contamination monitoring. The volume will serve as a useful and timely overview of this increasingly important field.
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
عنوان
Semiconductor materials analysis and fabrication process control.
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
0444899081
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Analysis, Congresses.
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Optical properties, Congresses.
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Quality control, Congresses.
موضوع مستند نشده
Halbleiter.
موضوع مستند نشده
Herstellung.
موضوع مستند نشده
Kongress.
موضوع مستند نشده
Prozessüberwachung.
موضوع مستند نشده
SCIENCE / Physics / Electricity.
سایر رده بندی ها
شماره رده
33
.
72
شماره رده
53
.
09
کد سيستم
bcl
کد سيستم
bcl
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Crean, G. M.
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Stuck, R.
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Woollam, John A.
نام تنالگان به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام تنالگان تاييد نشده
Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control(1992 :, Strasbourg, France)
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
European Materials Research Society.
مستند نام تنالگان تاييد نشده
ScienceDirect (Online service)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20140923085400.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
