عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
9780323352888
شابک اشتباه
9780323327374
شماره کتابشناسی ملی
شماره
dltt
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Bijoy Bhattacharyya, Production Engineering Department, Jadavpur University, Kolkata, India.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
1 online resource :
ساير جزييات
illustrations
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
This book describes electrochemical micromachining (EMM). It covers the generation of micro features used for advanced engineering of materials for fabrication of MEMS, microsystems and other micro-engineering applications; explores the trend of decreasing size of fabricated devices, reflected in coverage of generation of high-precision nano-features on metal and semiconductors utilizing SPM, STM, and AFM, and nanotechnology aspects of EMM; describes nanofabrication utilizing anodic dissolutions for mass manufacturing by overcoming obstacles utilizing electrochemical microsystem technology (EMST) and electrochemical nanotechnology (ENT). --
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems.
موضوع مستند نشده
Micromachining.
موضوع مستند نشده
Nanotechnology.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Bhattacharyya, Bijoy
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
Books24x7, Inc.
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20151102142400.0
قواعد فهرست نويسي ( بخش توصيفي )
pn
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
