New approaches to image processing based failure analysis of nano-scale ULSI devices /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Zeev Zalevsky, Pavel Livshits, Eran Gur
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
101 pages :
ساير جزييات
illustrations ;
ابعاد
23 cm
فروست
عنوان فروست
Micro and Nano Technologies Series
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
New Approaches to Image Processing Based Failure Analysis of Nano-Scale ULSI Devices introduces the reader to transmission and scanning microscope image processing for metal and non-metallic microstructures. Engineers and scientists face the pressing problem in ULSI development and quality assurance: microscopy methods can't keep pace with the continuous shrinking of feature size in microelectronics. Nanometer scale sizes are below the resolution of light, and imaging these features is nearly impossible even with electron microscopes, due to image noise
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Integrated circuits-- Ultra large scale integration-- Testing
موضوع مستند نشده
Microelectronics
موضوع مستند نشده
Nanoelectronics
رده بندی ديویی
شماره
621
.
4
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )