عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
161344110X
شابک
9781613441107
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b405346
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Fabrication engineering at the micro and nanoscale
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Stephen A. Campbell.
وضعیت ویراست
وضعيت ويراست
3rd ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Oxford University Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
2008.
فروست
عنوان فروست
The Oxford series in electrical and computer engineering
يادداشت کلی
متن يادداشت
Rev. ed. of: The science and engineering of microelectronic fabrication. 2nd. ed.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به تکثیر
متن يادداشت
Includes interactive index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
An introduction to microelectronic fabrication -- Semiconductor substrates -- Diffusion -- Thermal Oxidation -- Ion Implantation -- Rapid thermal processing -- Optical lithography -- Photoresists -- Nonoptical lithographic techniques -- Vacuum Science and plasmas -- Etching -- Physical deposition: evaporation and sputtering -- Chemical vapor deposition -- Epitaxial growth -- Device isolation, contacts, and metalization -- CMOS technologies -- Other transistor technologies -- Optoelectronic technologies -- MEMS -- Integrated circuit manufacturing.
بدون عنوان
0
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
0195320174
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Design and construction.
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Mathematical models.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Campbell, Stephen A.,1954-
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Campbell, Stephen A.,1954-
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
Knovel (Firm)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20110817085102.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
