عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
9781489918048
شابک
9781489918062
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b404838
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Rapid Thermal Processing of Semiconductors
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
by Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boston, MA :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Imprint: Springer,
تاریخ نشرو بخش و غیره
1997.
فروست
عنوان فروست
Microdevices, Physics and Fabrication Technologies
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
1. Transient Heating of Semiconductors by Radiation -- 2. Recrystallization of Implanted Layers and Impurity Behavior in Silicon Crystals -- 3. Crystallization, Impurity Diffusion, and Segregation in Polycrystalline Silicon -- 4. Component Evaporation, Defect Annealing, and Impurity Diffusion in the III-V Semiconductors -- 5. Diffusion Synthesis of Silicides in Thin-Film Metal-Silicon Structures -- 6. Rapid Thermal Oxidation and Nitridation -- 7. Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition -- References.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9781489918062
قطعه
عنوان
Springer eBooks
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Optical materials.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Borisenko, V. E., (Viktor Evgenʹevich)
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Hesketh, Peter J.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
SpringerLink (Online service)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20190307161400.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
