عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
9781447102472
شابک
9781447110620
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b402419
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Plasma Charging Damage
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
by Kin P. Cheung.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
London :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Imprint: Springer,
تاریخ نشرو بخش و غیره
2001.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
1. Thin Gate-oxide Wear-out and Breakdown -- 2. Mechanism of Plasma Charging Damage I -- 3. Mechanism of Plasma Charging Damage II -- 4. Mechanism of Plasma Charging Damage III -- 5. Charging Damage Measurement I - Determination of Plasma's Ability to Cause Damage -- 6. Charging Damage Measurement II - Direct Measurement of Damage -- 7. Coping with Plasma Charging Damage.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
This book provides an in-depth, comprehensive and up-to-date coverage of the subject of plasma charging damage in modern VLSI circuit manufacturing. It is written for beginners as well as practitioners. For beginners, this book presents an easy-to-follow, unified explanation of various charging-damage phenomena, the goal being to provide them with a solid foundation for taking on real damage problems encountered in VLSI manufacturing. For practitioners, it can help bridge the gap between disciplines by providing all of the necessary background materials in one place. Drawing on the author's wide range of experience in plasma science, processing technologies, device physics and reliability physics, the text includes information on: - plasma and mechanisms of plasma damage; - wear-out and breakdown of thin gate-oxides; - the impact of processing equipment on damage; - methods of damage measurement; - damage management; - gate-oxide scaling.
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9781447110620
قطعه
عنوان
Springer eBooks
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Electronics.
موضوع مستند نشده
Engineering.
موضوع مستند نشده
Machinery.
موضوع مستند نشده
Optical materials.
موضوع مستند نشده
Surfaces (Physics).
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Cheung, Kin P.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
SpringerLink (Online service)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20190307161000.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
