عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
E-Book ,
E-Book
,
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
:0127521720
شماره کتابشناسی ملی
شماره
32775
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Chemical Mechanical Polishing in Silicon Processing
نام عام مواد
[electronic resources]
نام نخستين پديدآور
\ Volume editors Shin Hwa Li, Robert O. Miller
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
San Diego
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: Academic Press
تاریخ نشرو بخش و غیره
, 2000
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xv, 307 p.
ساير جزييات
:ill
فروست
عنوان فروست
Semiconductors and semimetals
مشخصه جلد
; v.63
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Index
متن يادداشت
Bibliography
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Grinding and polishing
عنصر شناسه ای
Silicon
عنصر شناسه ای
سنگ‌زنی
عنصر شناسه ای
سیلیسیوم
داده رابط بین فیلدها
a03
داده رابط بین فیلدها
a04
داده رابط بین فیلدها
a03
داده رابط بین فیلدها
a04
رده بندی کنگره
شماره رکورد غير از شماره رده بندي
E-Book
,
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Li, Shin Hwa.
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Miller, Robert O.
مبدا اصلی
کشور
ایران
دسترسی و محل الکترونیکی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
0127521720.pdf
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
p
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
کد کاربرگه
279177
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
N
