عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871 .85 .A33 2016
TK
7871
.
85
.
A33
2016
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
electronic
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Advances in chemical mechanical planarization )CMP(
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxiii, 511 pages : illustrations ; 24 cm
فروست
عنوان فروست
Woodhead Publishing series in electronic and optical materials ;no. 68.
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
edited by Suryadevara Babu
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Chemical mechanical planarization
عنصر شناسه ای
، Nanoelectronics
عنصر شناسه ای
، Microelectronics
عنصر شناسه ای
، Chemical mechanical planarization
عنصر شناسه ای
، Microelectronics
عنصر شناسه ای
، Nanoelectronics
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
A33
2016
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Babu, Suryadevara V editor
عنصر شناسه اي
SE
عنصر شناسه اي
SE Woodhead Publishing series in electronic and optical materials
