عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874 .O7 1991
TK
7874
.
O7
1991
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
135582
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
پا‌ئیز۲۸
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
نام عام مواد
)40(
عنوان اصلي
OSA proceedings on soft x-ray projection lithography: proceedings of the Topical Meeting, April 10-12, 1991, Monterey, California
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Washington
نام ناشر، پخش کننده و غيره
The Society
تاریخ نشرو بخش و غیره
1991
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xi, 152 p.: ill.; 29 cm
فروست
عنوان فروست
OSA proceedings on
شاپا ي ISSN فروست
v.12
يادداشت کلی
متن يادداشت
Spine title: Soft x-ray projection lithography
متن يادداشت
"Supported by Air Force Office of Scientific Research, Defense Advance Research Projects Agency, Department of Energy"
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Congresses ، X-ray lithography
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7874
.
O7
1991
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
عنصر شناسه اي
edited by Jeffrey Bokor; sponsored by the Optical Society of America
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU yerffeJ ,rokoB
عنصر شناسه اي
CO Optical Society of America
عنصر شناسه اي
TI Soft x-ray projection lithography
عنصر شناسه اي
SE
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
04
