عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871 .85 .S88 1998
TK
7871
.
85
.
S88
1998
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
120856
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
بها‌ر۹۷
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
نام عام مواد
)50(
نام نخستين پديدآور
Sugawara, M.)Minoru(
عنوان اصلي
Plasma etching: fundamentals and applications
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Oxford University Press
تاریخ نشرو بخش و غیره
1998
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
viii, 347 p.: ill. )some col.(; 24 cm
فروست
عنوان فروست
Series on semiconductor science and technology
شاپا ي ISSN فروست
7
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Semiconductors-- Etching
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
S88
1998
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
M. Sugawara ; with contributions from Barry L. Stonsfield ... ]et al.[
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU L yrraB ,dleifsnatS
عنصر شناسه اي
TI
عنصر شناسه اي
SE
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
05
