اطلاعات محلی رکورد
نوع مدرک
English Book
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Fundamentals of microfabrication
ساير اطلاعات عنواني
the science of miniaturization /
نام نخستين پديدآور
Marc J. Madou
وضعیت ویراست
نام ساير ويراستاران
2nd ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boca Raton
نام ناشر، پخش کننده و غيره
CRC Press
تاریخ نشرو بخش و غیره
,c2002
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
723 p. col. ill. 29 cm.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Microelectronics
عنصر شناسه ای
Integrated circuits- Design and construction
عنصر شناسه ای
Microelectromechanical systems- Design and construction
عنصر شناسه ای
Machining
عنصر شناسه ای
Microelectronic packaging
عنصر شناسه ای
Lasers- Industrial applications
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
,
7836
,.
M33
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Madou, Marc J.
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
عنصر شناسه اي
Title
