عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK,7871.85,.D79,1984
TK
,
7871
.
85
,.
D79
,
1984
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0444869050
اطلاعات محلی رکورد
نوع مدرک
English Book
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Dry etching for microelectronics
نام نخستين پديدآور
edited by Ronald A. Powell
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Amsterdam ; New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
North-Holland Physics Pub. ; New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co.,
تاریخ نشرو بخش و غیره
1984
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xi, 299 p. ill. 24 cm.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
ng Includes index.
متن يادداشت
Bibliography: p. 223-294.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Semiconductors- Etching
عنصر شناسه ای
Plasma etching
رده بندی ديویی
شماره
621
.
381
,.
73
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
,
7871
.
85
,.
D79
,
1984
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
عنصر شناسه اي
Powell, Ronald A.
تاريخ
Series: Materials processing, theory and practices ;v. 4.
