ما بقی فیلدها | ،#493ص. : مصور،جدول،نمودار،،،مترجم،مترجم،مترجم،Petrovic , Z،1355 -،1364 -،1362 -،§،#اقاجان | |||||||||||
عنوان و نام پديدآور | #ماکابه توشیاکی #Makabe, Toshiaki #الکترونیک پلاسما | |||||||||||
وضعیت نشر و پخش و غیره | تهران تایماز #1393 | |||||||||||
یادداشتهای کلی مربوط به اطلاعات توصیفی | 7#مورد استفاده در ساخت ابزارهای میکروالکترونیک | |||||||||||
یادداشتهای مربوط به کتابنامه،واژه نامه و نمایه های داخل اثر | n#کتابنام | |||||||||||
عنوان اصلی به زبان دیگر | ی#عنوان اصلی: Plasma electronics : applications in microelectronic device fabricatio | |||||||||||
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام) | مهندسی پلاسما | |||||||||||
رده بندی کنگره |
| |||||||||||
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول ) | #نویسندگان: توشی یاکی ماکابه،زوران ال جی پتروویچ | |||||||||||
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم ) | پ،پ،پ،پ،ع،پتروویچ،ز.،گنجویی،علیرضا،میرزایی،اعظم،صدر،صغری | |||||||||||
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده | ه#مترجمان: علیرضا گنجوئی،اعظم میرزائی،صغری صد |