عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
NATIONAL BIBLIOGRAPHY NUMBER
Country Code
IR
Number
۶۰پ
LANGUAGE OF THE ITEM
.Language of Text, Soundtrack etc
فارسی
COUNTRY OF PUBLICATION OR PRODUCTlON
Country of publication
IR
TITLE AND STATEMENT OF RESPONSIBILITY
Title Proper
بررسی ریز ساختار و تنش در لایه های نازک تیتانیوم و مس انباشت شده به روش کندوپاش
General Material Designation
[پایان‌نامه]
First Statement of Responsibility
/پژوهشگر علی طاهری زاده
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
: علوم پایه
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۸۱-۱۳۸۲
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۱۰۹ ص.
Other Physical Details
: مصور، جدول، نمودار
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه ص. ۱۰۹-[۱۰۸]
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
فیزیک-حالت جامد
Body granting the degree
اراک
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
در این پروژه تنش، کرنش و زیرساختار لایه های نازک و تعدادی از عواملی که بر آنها اثر می گذارد، با استفاده از روش های تجربی و محاسبتی (شبیه سازی رایانه ای) مورد بررسی قرار گرفته اند. در فصل اول کرنش، تنش و انواع آنها و روش اندازه گیری تنش به طور مختصر توضیح داده شده است. در فصل دوم به معرفی عواملی که در انباشت، بر روی تنش در لایه های نازک تاثیر می گذارند، مدلهای پیشنهاد شده برای تنشهای کششی و تراکمی و همچنین بررسی روش کندوپاش پرداخته شده است. در روش تجربی، که در فصل سوم به آن پرداخته شده است، لایه هایی از جنس تیتانیوم و مس با ضخامتها و دماهای زیرلایه متفاوت بر روی شیشه به روش کندوپاش انباشت کرده است. در روش محاسباتی که در فصل چهارم به آن پرداخته شده است ابتدا لایه ها به روش نزدیک ترین جفت اتم در تعداد اتم ها و زاویه انباشت متفاوت رشد داده شده اند. سپس با اندازه گیری زاویه رشد ستونها، چگالی تنگ چینی و تنش در لایه های رشد داده شده به بررسی و مقایسه آنها با روابط پیشنهاد شده توسط سایر پژوهشگران پرداخته است
TOPICAL NAME USED AS SUBJECT
فیزیک حالت جامد
فیزیک
PERSONAL NAME - PRIMARY RESPONSIBILITY
طاهری زاده، علی
PERSONAL NAME - SECONDARY RESPONSIBILITY
سوالونی، هادی، استاد راهنما
زنده نام، اکبر، استاد مشاور
ORIGINATING SOURCE
Country
ایران
Agency
دانشگاه اراک
LOCATION AND CALL NUMBER
Call Number
Ph so 2 81 9
DATA NOT CONVERTED FROM SOURCE FORMAT
Tag of the Source Format Field
محل نگهداری: بخش مرجع کتابخانه مرکزی دانشگاه اراک
نمایه‌سازی قبلی
p
TF
1
a
Y
