مدلسازی، بهینهسازی و طراحی میکروژیروسکوپ سه محوره ارتعاشی
Parallel Title Proper
Modeling,optimization and design ۳Axis vibratory micro gyroscope
First Statement of Responsibility
/رامین همتی
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
: فناوری های نوین
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۹۷
Name of Manufacturer
، افشاری
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۱۲۷ص
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
مهندسی نانو فناوری-نانو فوتونیک
Date of degree
۱۳۹۷/۱۱/۱۷
Body granting the degree
تبریز
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
در این پایاننامه یک میکروژیروسکوپ سهمحوره ارتعاشی مدلسازی و طراحی گردید .این ژیروسکوپ دارای ساختار یکپارچه و واحد بوده و برای اندازهگیری همزمان سرعت زاویهای در سه راستا مورد استفاده قرار میگیرد .با استفاده از طراحی کاملا متقارن ساختار و همچنین بکار بردن تیرهای مختلف از قبیل تیرهایU شکل، تیرهایU شکل دوتایی، تیرهایU شکل دوتایی یکسر گیردار، سیستم تعلیق پای خرچنگی و تیرهای جفت کننده خارج صفحهای، دیکوپیلینگ کامل بین بخش تحریک و بخشهای سنجش بوجود آمده است .تحریک میکروژیروسکوپ به صورت الکترواستاتیکی بوده و از طریق الکترودهای شانهای مستقر در چهار طرف ساختار انجام میشود .ابتدا مدلسازی ساختار اولیه انجام شده و سپس تحلیل فرکانسهای طبیعی برای حالتهای تحریک و سنجش ارائه شده و معادلات مربوط به دامنه ارتعاش حالت تحریک و حساسیت جابجایی حالتهای سنجش استخراج شده است .به دلیل متقارن بودن ساختار ژیروسکوپ مکانیزم عملکردی برای حالتهای سنجش دوران حول محورهای x و y یکسان در نظر گرفته میشود .به منظور دسترسی به حساسیت بیشتر در حالتهای سنجش، باید تطابق فرکانسی بین فرکانس راستای تحریک و فرکانسهای راستای سنجش وجود داشته باشد .به همین دلیل برای از بین بردن اختلاف فرکانسی Hz ۱۴۹ که بین فرکانسهای ژیروسکوپ قرار دارد از روش بهینهسازی متغیرها استفاده میکنیم .کلیه مراحل شبیهسازی و بهینهسازی توسط نرمافزار MATLAB انجام گرفته است .بدین منظور ابتدا تحلیل حساسیت میکروژیروسکوپ نسبت به متغیرهای طراحی به طور کامل بررسی شده و متغیرهای حساس در طراحی مشخص شدند .سپس بهینهسازی بر اساس پارامترهای حساس و با استفاده از روش الگوریتم ژنتیک انجام شد .نتایج حاصل از بهینه سازی متغیرها نشان میدهد که دامنه جابجایی در حالت تحریک حدود ۴۴/۵ m میباشد که به میزان ۴۳/۰ m نسبت به زمان قبل از بهینهسازی که مقدار آن ۰۱/۵ m بود، افزایش مییابد .حساسیت برای دوران حول محور z برابر با)s) ۱۰m
Text of Note
(-10) m(s). The drive mode frequency and the yaw sense mode frequency and roll/pitch sense mode frequency are obtained after optimization of 13999.6Hz, 14000Hz and 14000Hz, respectively, and the frequency split between modes being about 0.4Hz, equal to 0.01 .
PARALLEL TITLE PROPER
Parallel Title
Modeling,optimization and design ۳Axis vibratory micro gyroscope