NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی - الکترونیکی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه در آخر پایان نامه
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
طراحی کاربردی
Date of degree
۱۳۹۴/۰۱/۰۰
Body granting the degree
صنعتی سهند
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
قابلیت اطمینان یکی از موضوعات مهم و اساسی در توسعهی هر محصول صنعتی و تجاری میباشد و محصولات تولید شده با استفاده از تکنولوژی MEMS نیز از این قاعده مستثنا نیستند .در ارزیابی هیبریدی قابلیت اطمینان قطعات MEMS که در این پروژه مدنظر قرار گرفته است، پس از بررسی مکانیزمهای خرابی و تعیین مد خرابی غالب، بایستی مدل قطعی تخمین طولعمر خرابی با استفاده از روشهای احتمالاتی به مدلی غیرقطعی تبدیل گردد. در این راستا برای ارزیابی مدهای خرابی و شناسایی مد خرابی غالب از روش FMEA استفاده شده است .پس از تعیین مد خرابی غالب و شناسایی فیزیک خرابی، طولعمر خرابی در قطعهی MEMS با استفاده از مدلی قطعی تخمین زده شده است .با تشخیص پارامترهای تأثیرگذار بر طولعمر خرابی، مدل قطعی به مدلی احتمالاتی تبدیل شده است .این مدل غیرقطعی با نمونهبرداری از توزیع پارامترهای غیریقینی با استفاده از روش مونت کارلو صورت گرفته است .پس از آن نتایج تخمین عمر بهمنظور سازگاری بیشتر با نتایج واقعی و تخمین دقیقتر طولعمر، با استفاده از روش بیژین بهروز رسانی شده است . یکی از پرکاربردترین قطعاتMEMS ، سوئیچ خازنی RF MEMS است اما مشکلات قابلیت اطمینان مانع از تجاریسازی آنها شده است .از اینرو در این پژوهش، سوئیچ خازنی RF MEMS بهعنوان مطالعه ی موردی انتخاب شده است .نتایج FMEA نشان میدهد که بهدلیل ایجاد عیوب نقطهای در هنگام ساخت دیالکتریکها و قرارگیری آنها در میدان الکتریکی بسیار بالا و در نتیجه درتلهاندازی بارهای الکتریکی توسط این عیوب نقطهای، دیالکتریک باردار میشود.از اینرو چسبندگی ناشی از بارداری دی-الکتریک بهعنوان عمدهترین مد خرابی در این قطعات گزارش شده است .در ادامه، ابتدا با استفاده از یک مدل ریاضی قطعی برای بارداری دیالکتریک طولعمر عایق و تعداد سیکلهای کارکرد سوئیچ خازنی RF MEMS محاسبه شده و سپس با اعمال روش مونت کارلو این مدل قطعی به مدلی احتمالاتی تبدیل گردیده است .نتایج شبیهسازی نشان میدهد که بارداری دیالکتریک رفتارتصادفی داشته و توزیع نرمال لگاریتمی مناسبترین توزیع برای بیان مدل طولعمر دیالکتریک است. در نهایت نتایج بهدست آمده به روش بیژین بهروز رسانی شده است
TOPICAL NAME USED AS SUBJECT
بهروز رسانی بیژن
شبیه سازی مونت کارلو
عدم قطعیت
FMEA
بارداری دی الکتریک
سوئیچ خازنی RF MEMS
PERSONAL NAME - PRIMARY RESPONSIBILITY
مباشرمقدم، مینو
PERSONAL NAME - SECONDARY RESPONSIBILITY
پورگلمحمد، محمد، استاد راهنما
ORIGINATING SOURCE
Country
ایران
Date of Transaction
20230808
LOCATION AND CALL NUMBER
Call Number
مکانیک،۸۰۲۶۱،۱۳۹۴
ELECTRONIC LOCATION AND ACCESS
Host name
تاعطق رد نانیمطا تیلباق یدیربیه یبایزرا MEMS.pdf