لایه نشانی تیتانیوم آلومینیوم نیتراید با استفاده از دستگاه پلاسما فوکوس کم انرژی
General Material Designation
[پایاننامه]
First Statement of Responsibility
/حسن انوشا
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
: علوم پایه
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۹۳
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۹۶ ص
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی - الکترونیکی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه در آخر پایان نامه
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
فیزیک
Date of degree
۱۳۹۳/۰۷/۰۰
Body granting the degree
صنعتی سهند
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
در این مطالعه تجربی , تشکیل لایه های نازک تیتانیوم آلومینیوم نیتراید روی زیرلایه استیل ضد زنگ توسط دستگاه پلاسما فوکوس کم انرژی نوع مدر ارائه می شود .لایه های نازکTiAlN در فاصله cm۵ از بالای آند و با تعداد شات های متفاوت ۱۰۰ - ۱۵۰- ۲۰۰ روی استیل ضد زنگ تحت زاویه صفر درجه نسبت به محور آند تشکیل شدند .نتایج پراش اشعه ایکس تشکیل ساختار TiAlN روی سطح نمونه ها را نشان داد که با داده های استاندارد برای TiAlN مطابقت دارد .با توجه به تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی ,نانوذرات TiAlN به طور تقریبا "یکنواخت روی سطح توزیع شده است .توپوگرافی سطح لایه های نازک نشان می دهد که توزیع دانه در سطح نمونه ها با افزایش تعداد شات ها ناهمگن ترمشاهده می شود .علاوه بر این، با افزایش تعداد شات ها, اندازه دانه ها و ضخامت میانگین سطح افزایش می یابد که می تواند به علت افزایش انرژی سطح در اثر برخورد یونها به سطح باشد