لایه نشانی فیلمهای کربن الماس گونه روی سیلیکون با استفاده از دستگاه پلاسما فوکوس
General Material Designation
[پایاننامه]
First Statement of Responsibility
/محمدعلی نعلبندزاده
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
: دانشکده علوم پایه
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۹۱
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۱۳۱ ص
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی - الکترونیکی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه در آخر پایان نامه
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
فیزیک
Body granting the degree
دانشگاه صنعتی سهند
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
فیلم کربن شبه الماسی (DLC) به خاطر ویژگیهای جذابی که دارد، در طول دو دههی گذشته به طور گستردهای خواص آن مورد مطالعه قرار گرفته است .این فیلم دارای ویژگیهای منحصربفرد مکانیکی و الکتریکی میباشد که به عنوان روان کننده نیز بکار برده میشود و همین مورد بیانگر پتانسیل بالای این فیلم در کاربردهای روان کاری است .در این تحقیق فیلم DLC توسط دستگاه پلاسما فوکوس کم انرژی روی زیر لایهای از جنس سیلیکون (Si) نهشت داده شد .نمونههای تهیه شده در این تحقیق به وسیله سیستمهای آنالیزی همچون XRD ، پراکندگی رامان، SEM و EDX مورد مطالعه قرار گرفتند .نتایج XRD پیکهای مربوط به ترکیبات سیلیکون اکساید SiO۲ و سیلیکون کرباید SiC را نشان میداد .مطالعه آنالیز رامان نمونهها تشکیل لایه آمورف کربن در قلههای D و G را تایید میکند .تغییرات مربوط به میزان پهنا در نصف ارتفاع ماکزیمم برای پیکهای D و G و همچنین تغییرات نرخ ساختار الماسی به ساختار گرافیتی(ID/IG) ، مورد بررسی قرار گرفت