اثر باریکه الکترونی بر روی دینامیک نانوذرات باردار در غلاف پلاسمایی
General Material Designation
[پایاننامه]
First Statement of Responsibility
/عزتاله نویدیان
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
دانشگاه صنعتی سهند
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۹۰
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۹۱ ص
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی - الکترونیکی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه در آخر پایان نامه
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
فیزیک
Body granting the degree
دانشگاه صنعتی سهند
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
پلاسمای تخلیه دما پایین به طور وسیع در اچینگ، اسپاترینگ و نهشت مواد مورد استفاده قرار می گیرد .اثر یونیزاسیون الکترون حرارتی، یونیزاسیون باریکه، برخورد گونههای یون-خنثی و باریکه-خنثی را در لایه مرزی و به طور خاص در لبه غلاف بررسی کردهایم .با استفاده از برخورد مستقیم باریکه الکترونها بر روی مرز غلاف، معادله مرزی خودسازگار کامل را برای پیش غلاف و غلاف حاوی باریکه الکترونهای حرارتی حل میکنیم .با بررسی غلاف الکترواستاتیکی پلاسمای غباری برای ذرات غبار پایا با بار متغیر، نشان دادیم که تغییر بار غبار تاثیر مهمی بر روی ساختار غلاف دارد، هم چنین پتانسیل سقدیف را برای حالت یونهای سرد و گرم محاسبه کردیم و نشان دادیم در حالت با یونهای گرم، وجود ذرات غبار باعث باریک شدن غلاف میشود، و در حالت یونهای سرد، سرعت یونهای وارد شده به غلاف باید از عدد ماخ بحرانی یونی بیشتر باشد .ساختار غلاف ES را در مرز پلاسمای غباری با در نظر گرفتن حرکت هیدرودینامیک ذرات غبار سنگین تحت نیروهای گرانشی و ES بررسی کردیم .نشان دادیم که برای ذرات غبار با اندازه متوسط، اثر متقابل نیروهای گرانشی و ES باعث ایجاد یک ساختار چند- لایه ای یا لایه بندی غبار میشود .برای ذرات غبار بزرگتر، به علت غلبه نیروی گرانش بر نیروی ES ، لایه بندی از بین میرود .در ادامه شرط بوهم را در پلاسمای غباری برای حالت ذره غبار با بار منفی و نیز ذره غبار با بار مثبت، در حضور باریکه الکترونی و بدون حضور باریکه الکترونی بررسی کردیم.