Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
General Material Designation
[Book]
First Statement of Responsibility
von Bernhard Klumpp.
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Place of Publication, Distribution, etc.
Berlin, Heidelberg
Name of Publisher, Distributor, etc.
Springer Berlin Heidelberg
Date of Publication, Distribution, etc.
1993
SERIES
Series Title
IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart, 182.
CONTENTS NOTE
Text of Note
1 Einleitung --; 1.1 Problemstellung --; 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise --; 2 Stand der Technik --; 2.1 Begriffe und Definitionen --; 2.2 Ursachen für die Verunreinigung von Oberflächen --; 2.3 Oberflächen in unmittelbarer Produktumgebung --; 2.4 Verfahren zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen --; 3 Analyse der Randbedingungen zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen --; 3.1 Analyse der Beurteilungsmerkmale für Partikel --; 3.2 Eingesetzte Oberflächen --; 3.3 Beurteilungskriterien für die Oberflächenreinheit --; 3.4 Analyse der verfügbaren Partikelmeßtechnik --; 4 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten --; 4.1 Anforderungen an die Prüfeinrichtung --; 4.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Prüfmethode --; 5 Konzeption und Realisierung einer Prüfeinrichtung zur Beurteilung der Partikelreinheit technischer Oberflächen --; 5.1 Konzeption einer Prüfeinrichtung --; 5.2 Konzeption und Entwicklung von Funktionsgruppen --; 5.3 Realisierung --; 5.4 Minimal nachweisbare Partikelgrößen auf idealen Oberflächen --; 6 Entwicklung einer Prüfmethode --; 6.1 Auswahl von Testoberflächen --; 6.2 Definierte Verunreinigung der Testoberflächen --; 6.3 Detektionsrandbedingungen für die Prüfmethode --; 6.4 Erarbeitung der Prüfmethode --; 7 Anwendung des Verfahrens in realen Einsatzfällen --; 7.1 Untersuchung der Eignung des Verfahrens zur Fertigungsüberwachung --; 7.2 Qualitätssicherung durch Reinigung technischer Oberflächen --; 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens --; 8 Zusammenfassung und Ausblick --; 9 Literatur.