عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC۷۱۸/۵ /د۹ ل۹ ۱۳۸۴
QC
۷۱۸
/
۵
/
د
۹
ل
۹ ۱۳۸۴
کتابخانه
محل استقرار
INTERNATIONAL STANDARD BOOK NUMBER
Terms of Availability and/or Price
0-471-72001-1
NATIONAL BIBLIOGRAPHY NUMBER
Number
۱۰۹۳۷۵۳
TITLE AND STATEMENT OF RESPONSIBILITY
Title Proper
Principles of plasma discharges and materials processing
First Statement of Responsibility
/ Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg.
EDITION STATEMENT
Edition Statement
2nd ed.
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Place of Publication, Distribution, etc.
Hoboken, N. J.
Name of Publisher, Distributor, etc.
: Wiley-Interscience
Date of Publication, Distribution, etc.
=1384.
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
xxxv ، ۷۵۷ ص.
Other Physical Details
: مصور.
GENERAL NOTES
Text of Note
انگلیسی.
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه: ص. ۷۳۵-۷۴۸.
Text of Note
نمایه.
پرینسیپلز...
TOPICAL NAME USED AS SUBJECT
Entry Element
دینامیک پلاسما
لایههای نازک -- رویهها
Plasma etching
Plasma chemistry -- Industrial applications
DEWEY DECIMAL CLASSIFICATION
Number
۵۳۰
/
۴۴
LIBRARY OF CONGRESS CLASSIFICATION
Class number
QC
۷۱۸
/
۵
/
د
۹
Book number
ل
۹ ۱۳۸۴
PERSONAL NAME - PRIMARY RESPONSIBILITY
لیبرمن، مایکل
Lieberman, M. A. (Michael A.)
PERSONAL NAME - ALTERNATIVE RESPONSIBILITY
لیشتنبرگ، آلن
Lichtenberg, Allan J.
برونسپاری/در دست مستند سازی
