ما بقی فیلدها | ،،،،،،§،#aghaee§،#1390/10/21 | ||||||||
عنوان و نام پديدآور | #Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization #Ungyu Paik, Jea-Gun Park | ||||||||
وضعیت نشر و پخش و غیره | Boca Raton, FL CRC Press/Taylor & Francis Group #c2009 | ||||||||
مشخصات ظاهری | #xiii, 191 p., ]14[ p. of plates: ill., )some col.(, 25 cm. | ||||||||
یادداشتهای کلی مربوط به اطلاعات توصیفی | #fabrication of next-generation nanodevices | ||||||||
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام) | Chemical mechanical planarization Nanoparticles Nanoelectronics | ||||||||
رده بندی کنگره |
| ||||||||
سایر رده بندی ها | #7874.84 | ||||||||
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر ) | #Paik, Ungyu | ||||||||
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده | AU،TI،Park, Jea-Gun |