عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7875 .E52
TK
7875
.
E52
کتابخانه
محل استقرار
Enabling technology for MEMS and nanodevices
Weinheim, Germany
Wiley-VCH
c2004
xii, 427 p.: ill
Advanced micro & nanosystems; v.1
Includes bibliographies
ISBN: 352730746X
edited by H. Baltes... ]et al.[
1
، Microelectromechanical systems
، Microelectronics
، Nanotechnology
TK
7875
.
E52
NO
TI
AU Baltes, Henry, 1941-
SE
