عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871.99 .M44C57
TK
7871
.
99
.
M44C57
کتابخانه
محل استقرار
CMOS-MEMS
Weinheim, Germany
Wiley-VCH
c2005
xiv, 594 p.: ill
Advanced micro & nanosystems; v.2
Includes bibliographies
ISBN: 3527310800
volume editors, O. Brand and G. K. Fedder
1
، Metal oxide semiconductors, Complementary
، Microelectromechanical systems
TK
7871
.
99
.
M44C57
NO
TI
AU Brand, Oliver, 1964-
AU Fedder, Gary K.
SE
