عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874.84 .P35 2009
TK
7874
.
84
.
P35
2009
کتابخانه
محل استقرار
English
Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization: fabrication of next-generation nanodevices
Boca Raton
CRC Press / Taylor & Francis
c2009
xiii, 191 p.: ill.
"A CRC title."
Includes bibliographical references )p. 171-175( and index
authors, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
1
، Chemical mechanical planarization
، Nanoparticles
، Nanoelectronics
621
.
3815/2
TK
7874
.
84
.
P35
2009
Paik, Ungyu.
AU
AU Park, Jea-Gun
TI
