طراحی و بهینه سازی یک اسپکترومتر نوری تبدیل فوریه بر پایه سیستم های میکرو الکترو مکانیکی
[پایاننامه]
Design and optimization of a Fourier transform optical spectrometer based on micro-electro-mechanical systems
/محمد جوانمرد عسگرآباد
: مهندسی برق
، ۱۳۹۸
۸۹ص.
:
زبان: فارسی
زبان چکیده: فارسی
چاپی - الکترونیکی
مصور، جدول، نمودار
کارشناسی ارشد
مهندسی برق- افزارههای میکرو و نانوالکترونیک
۱۳۹۸/۰۶/۰۱
صنعتی سهند
طیف سنج های تبدیل فوریه FTS یکی از متداول ترین روشهای تشخیصی در رابطه با ترکیبات مواد مختلف و یا در کاربردهای پزشکی و صنعتی محسوب می گردند .یکی از پر کاربرد ترین انواع طیف سنج های تبدیل فوریه، تداخل سنج مایکلسون می باشد که هدف از این پایان نامه طراحی و به کارگیری یک میکرو آینه تنظیم پذیر برای به حرکت در آوردن بخش آینه متحرک این تداخل سنج می باشد .میکرو آینه تنظیم پذیر پیشنهادی در این پایان نامه با بهره گیری از تکنولوژی سیستم های میکرو الکترو مکانیکی با تحریک الکترومغناطیسی ، معرفی، طراحی و مدل سازی می گردد که قابل استفاده و بهره برداری در بسیاری از تجهیزات الکترونیکی پرتابل و من جمله در طیف سنج های تبدیل فوریه می باشد .میکرو آینه تنظیم پذیر ارائه شده در این پایان نامه متشکل از ۲ بخش عمده، شامل مجموعه ای از میکرو ساختارهای فنری و سیستم تحریک الکترومغناطیسی می باشد که بخش فنری سازه وظیفه جابجایی و عقب و جلو بردن بخش آینه ای متصل به آن را که در نقش آینه متحرک تداخل سنج مایکلسون می باشد، با استفاده از نیروی الکترو مغناطیسی حاصل از تحریک مغناطیسی مجموعه فنرها، عهده دار می باشد .افزایش دقت و حساسیت طیف سنجهای تبدیل فوریه مبتنی بر تداخل سنج مایکلسون وابسته به میزان و بازه جابجایی آینه متحرک بوده که با افزایش این بازه و در نتیجه اسکن تعداد بالاتری از نمونه طول موج های دریافتی، می توان دقت این سیستم ها را افزایش داد .با بهره گیری از میکرو آینه تنظیم پذیر ارائه شده در این پایان نامه می توان به جابجایی در اندازه ۵۰۰ میکرو متر دست پیدا کرد که دقت کمتر از ۲/۴ را ارائه می دهد .
Fourier transform spectroscopy is one of the most common diagnostic methods to Concerning the composition of different materials or in medical and industrial applications. One of the most widely used types of Fourier transform spectrometers is the Michelson interferometer. The purpose of this thesis is to design and use a reconfigurable micro mirror in order to move the moving part of the Michelson interferometer moveable mirror. The purposed reconfigurable micro mirror in this thesis designed and simulated with electromagnetically actuated Micro Electro Mechanical Systems technology that can be used in most portable devices and Fourier transform spectroscopy. This reconfigurable micro mirror Presented in this thesis is composed of 2 major parts, that Including sets of reconfigurable micro mirror structure and electromagnetically actuated system. Spring Structural Section acts as a movable mirror of Michelson interferometer that driven by the interaction of electromagnetic force Produced by the actuation part and the designed springs. increasing the accuracy and sensitivity of FTS based on Michelson interferometer depends on maximum displacement can achieve by moving mirror. In this design max displacement can be achieved is 500 m so the maximum spectral resolution is less than 2.4 nm.
ba
Design and optimization of a Fourier transform optical spectrometer based on micro-electro-mechanical systems