IR
۱۹۳۴ پ
فارسی
IR
مطالعه دینامیک الکترون در غلاف های نوسان کننده یک راکتور پلاسمای جفت شده خازنی
[پایان‌نامه]
/زهرا قلی زاده
: علوم پایه مهندسی
، ۱۳۹۳
۱۱۴ ص
چاپی - الکترونیکی
کتابنامه در آخر پایان نامه
کارشناسی ارشد
فیزیک
صنعتی سهند
در این کار گرمایش الکترون، مکانیسم تولید پلاسما و دینامیک الکترون در انواع متفاوت تخلیه‌های رادیوفرکانسی جفت شده خازنی (CCRF) که مورد استفاده برای کاربردهای صنعتی هستند، با استفاده از ترکیب تشخیصات آزمایشگاهی متفاوت، شبیه‌سازی‌ها و مدل‌ها بررسی می‌شوند .تخلیه‌های تک فرکانسی متقارن و نامتقارن هندسی که در فشار پایین عمل می‌کنند و همین‌طور تخلیه‌های دوفرکانسی متقارن که در دو فرکانس اساسا متفاوت عمل می‌کنند، مطالعه می‌شوند .در فشارهای پایین تولید باریکه‌های الکترون پرانرژی توسط غلاف گسترده مشاهده می‌شود. اگر مسافت آزاد میانگین الکترون به اندازه کافی بزرگ باشد، این باریکه‌ها در داخل توده پلاسما منتشر می‌شوند و در مرزهای مخالف پلاسما منعکس می‌شوند .یک مدل تحلیلی اثبات می‌کند که این باریکه‌ها به یک دنبال انرژی بالای تابع توزیع انرژی الکترون منجر می‌شوند، و بنابراین ارتباط خیلی نزدیکی با گرمایش اتفاقی دارند .وارونگی‌های میدان الکتریکی در تخلیه‌های تک و دوفرکانسی به طور آزمایشگاهی، با شبیه‌سازی PIC (ذره در سلول) و همین‌طور با استفاده از مدل تحلیلی بررسی می‌شوند .اثبات می‌شود که وارونگی‌های میدان توسط برخورد الکترون‌ها با گاز پس-زمینه خنثی ویا اینرسی الکترون ایجاد می‌شوند .در تخلیه‌های دوفرکانسی کلاسیکی که در فرکانس‌های اساسا متفاوت عمل می‌کنند طبیعت جفت‌شدگی فرکانس بر پایه نتایج آزمایشگاهی و شبیه‌سازی درک می‌شود .ثابت می‌شود که جفت‌شدگی فرکانس، کنترل جداگانه انرژی و شار یون را در سطوح الکترود محدود می‌کند .مدهای متفاوت گرمایش الکترون مثل مد و مطالعه می‌شوند و با تخلیه‌های تک فرکانسی مقایسه می‌شوند
وارونگی میدان
گرمایش اتفاقی
تابع توزیع انرژی الکترون
غلاف گسترده
باریکه الکترون
تخلیه متقارن و نامتقارن
تخلیه های CCRF
گرمایش الکترون
قلی زاده، زهرا
فروتن، غلامرضا، استاد راهنما
ایران
20230621
فیزیک،۹۰۰۹۰،۱۳۹۳
ی‌نزاخ ه‌دش ت‌فج ی‌امسلاپ روتکار ک‌ی ه‌دننک ن‌اسون ی‌اه ف‌لاغ رد ن‌ورتکلا ک‌یمانید ه‌علاطم.pdf
عادی
عادی
1934.pdf
p90090.pdf
0
ایمانی
متن
0
پ ۱۹۳۴
فارسی
نمایه‌سازی قبلی
pe
TF
92029
1
a
Y
