عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TA 1520 .U35
TA
1520
.
U35
کتابخانه
محل استقرار
Micromechanical photonics
Berlin
Springer-Verlag
c2006
xi, 250 p. : ill
Microtechnology and MEMS,5161-6238
Includes bibliographical references )p.]227[-242( and index
H. Ukita
، Photonics
، Microelectronics
، Microelectromechanical systems
TA
1520
.
U35
Ukita, Hiroo
AU
TI
