عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7875 .E49
TK
7875
.
E49
کتابخانه
محل استقرار
Mechanical microsensors
Berlin
Springer-Verlag
2001
X, 295 p. : ill
Microtechnology and MEMS
Includes bibliographical references )p.]274[-290( and index
M. Elwenspoek, R. Wiegerink
، Detectors - Design and construction
، Microelectromechanical systems - Design and construction
، Transducers
، Silicon
، Micromachining
TK
7875
.
E49
NO
8491-
Elwenspoek, Miko
AU
AU Wiegerink, Remco J. 1964-
TI
