عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871 .85 .S88
TK
7871
.
85
.
S88
کتابخانه
محل استقرار
Plasma etching: fundamentals and applications
Oxford
Oxford University Press
1998
viii, 347 p. : ill
Series on semiconductor science and technology; 7
Includes bibliographical references and index
M. Sugawara; with contributions from Barry L. Stansfield, S. Handa, K. Fujita, S. Watanabe, T. Tsukamoto
1
، Semiconductors - Etching
، Plasma etching
TK
7871
.
85
.
S88
NO
Sugawara, Minoru
AU
AU Stansfield, Barry L.
AU Fujita, K. 1942-
TI
