عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
1118747402 (electronic bk.)
1118747429 (electronic bk.)
9781118747407 (electronic bk.)
9781118747421 (electronic bk.)
1118747348
1118747380
9781118062777 (cloth : alk. paper)
9781118747346
9781118747384
dltt
Atomic layer deposition
[Book]
principles, characteristics, and nanotechnology applications /
Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman.
1306
1 online resource.
Includes bibliographical references and index.
Atomic layer deposition
9781118062777
Chemical vapor deposition.
Epitaxy.
Microelectronics.
Nanotechnology.
SCI-- 050000
TEC-- 027000
620/
.
5
23
Kääriäinen, Tommi.
Cameron, David,1949-
Kääriäinen, Marja-Leena.
Sherman, Arthur,1931-
Ohio Library and Information Network.
Wiley Online Library (Online service)
20130607151958.0
rda
مطالعه متن کتاب [Book]
Y
