عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874.84 .P35 2009
TK
7874
.
84
.
P35
2009
کتابخانه
محل استقرار
استان: خراسان رضوی ـ شهر: مشهد
47026
Paik, Ungyu.
Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization: fabrication of next-generation nanodevices
Boca Raton
Taylor & Francis
2009
xiii, 191 p. : ill.
"A CRC title."
Includes bibliographical references and index
authors, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
، Chemical mechanical planarization
، Nanoparticles
، Nanofluids
TK
7874
.
84
.
P35
2009
AU
AU Park, Jea-Gun
TI
CL
