عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC 611 .6 .S9 .R456 2011
QC
611
.
6
.
S9
.
R456
2011
کتابخانه
محل استقرار
153223
بهار۰۹
English
)12(
Reinhardt, Karen A.
Handbook of cleaning for semiconductor manufacturing: fundamentals and applications
Hoboken
John Wiley & Sons, Inc
2011
xxii, 590 p.: ill.; 26 cm
Includes bibliographical references and index
، Semiconductors-- Surface-- Cleaning
QC
611
.
6
.
S9
.
R456
2011
AU
karen A. Reinhardt, Richard F. Reidy
AU .F drahciR
TI
131
