عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC 702 .7 .P6 .C48
QC
702
.
7
.
P6
.
C48
کتابخانه
محل استقرار
108920
بهار۵۷
English
)12(
Chapman, Brian N.
Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
New York
Wiley
1980
xv, 406 p. : ill. ; 24 cm
A Wiley-Interscience publication
Bibliography: p. 397-400
Includes index
، Sputtering )Physics(
، Glow discharges
، Plasma etching
QC
702
.
7
.
P6
.
C48
AU
Brian Chapman
TI
131
