عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
978-0-387-09510-3
08,N20,0973
لاتين
انگليسي
Thomas M. Adams, Richard A. Layton
author
Introductory MEMS : fabrication and applications
New York
Springer
c2010
xv, 444 p. :ill. (some col.) ; 25 c.m
مرجع به حساب نمي آيد
Includes bibliographical references and index.
fabrication and applications
Microelectromechanical systems
Electronic apparatus and appliances
Transducers
MEMS
TK
7875
.
A33
2010
مولف
Adams, Thomas M
Layton, Richard A
