عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
620,.5,M33F
620
,.
5
,
M33F
کتابخانه
محل استقرار
استان: کهکیلویة و بویرأحمد ـ شهر: یاسوج
9781420055115 (v. 1)
English Book
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
Marc J. Madou
3rd ed.
Boca Raton, FL
CRC Press,
c2012
3 v. : ill. (some col.) ; 29 cm.
Includes bibliographical references and index.
Microelectromechanical systems
Nanoelectromechanical systems
Microfluidics
Solid-state physics
620
,.
5
,
M33F
Madou, Marc J
Title
