عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
9783540313
English Book
Micromechanical photonics
H. Ukita
Berlin
Springer-Verlag
2006
xi, 250 p. ill.
Microtechnology and MEMS,1615-8326
Includes bibliographical references (p. [227]&-242) and index.
Photonics
Microelectronics
Microelectromechanical systems
Ukita, H.(Hiroo)
